在微電子行業(ye) ，密封材料麵臨(lin) 嚴(yan) 苛挑戰。它們(men) 要從(cong) 容應對等離子、氣體(ti) 、高溫、酸堿等不同腐蝕，保持“纖塵不染”的高貴品質，滿足行業(ye) 對密封材料的高潔淨度要求。否則，密封材料容易出現腐蝕、溶脹、老化等問題，導致密封失效。

派克漢尼汾旗下的FFKM（全氟橡膠）無懼嚴(yan) 苛工況，它們(men) 擁有低顆粒物析出、高潔淨度、耐化學介質及耐電離輻射等高品質性能，耐受溫度可高達320℃，FFKM由優(you) 質的氟碳化合物組成，其中超高潔淨的FFKM在單獨的製造單元生產(chan) ，保護材料不受塵埃、模具塗料等汙染，為(wei) 材料潔淨度保駕護航。

針對微電子行業(ye) 的具體(ti) 應用工況，派克漢尼汾旗下不同係列的FFKM各有所長，下麵，我們(men) 就來解鎖其中兩(liang) 款FFKM，看看它們(men) 所擁有的神奇密封術吧！

[ 關(guan) 鍵詞 ] 耐壓變    

雖然FFKM耐高溫和耐化學腐蝕能力非常優(you) 秀，但耐壓變性能卻相對較差。如果密封件的回彈能力減弱發生形變，其橡膠特性就會(hui) 受到嚴(yan) 重影響，進而導致泄漏。針對這一行業(ye) 難題，派克漢尼汾推出ULTRA FF156

在實驗室，我們(men) 將相同硬度的FF156和其他類似耐化學腐蝕的FFKM產(chan) 品進行耐壓變性能對比測試。

數據顯示，FF156在耐壓變性能方麵優(you) 於(yu) 其他兩(liang) 種材料，使用壽命更長。

[ 關(guan) 鍵詞 ]顆粒物析出，抗腐蝕能力

在使用NF3和O2等離子體(ti) 進行清潔，沉積SiH4的化學氣相沉積（HDP-CVD）工藝中，一家製造商使用行業(ye) 領先的密封件，還是發生了腐蝕。如下圖所示，材料I和II發生嚴(yan) 重降解，約20%的密封材質受到侵蝕；而在相同的使用時間內(nei) ，FF302 O形圈沒有受到侵蝕。

事實上，FF302-75的實驗表明，它能夠耐受具有強腐蝕性的蝕刻和清潔化學成分。因此，越來越多的半導體(ti) 行業(ye) 客戶開始采用FF302，以降低成本。