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派克 FRN1000 減壓閥 - FR1000係列

FR1000 係列在半導體(ti) 和其他清潔的天然氣輸送超高純度的調節過程, 低到中等流量,這個(ge) 係列的閥門在閥歧管箱,煤氣櫃,和其他半導體(ti) 製造等行業(ye) 非常廣泛的應用。

作為(wei) 一款用於(yu) 氣體(ti) 精密控製的通用減壓閥,FRN1000減壓閥進口壓力可達3500psig,Cv 值 0.09 和0.15 可選。

膜片與(yu) 閥體(ti) 間采用金屬對金屬密封
標準膜片材料為(wei) Hastelloy®
鈍化工藝
可用於(yu) 氧氣應用


FR1000 係列在半導體(ti) 和其他清潔的天然氣輸送超高純度的調節過程, 低到中等流量,這個(ge) 係列的閥門在閥歧管箱,煤氣櫃,和其他半導體(ti) 製造等行業(ye) 非常廣泛的應用。

流量係數: 0.09, 0.15 Cv
最大入口額定壓力: 3500 psig
出口額定壓力: 出口壓力1-30 psig, 2-60 psig, 2-100 psig, 5-150 psig, 1-10 psig
閥座材料: 聚三氟氯乙烯
端口數量: 2
端口類型: 1/4"麵密封,3/8"麵密封
端口連接: 外螺紋,外螺紋,內螺紋,內螺紋
閥體材料: 316L不鏽鋼,316L不鏽鋼雙融
選件: 鈉,哈氏合金裝飾(提升閥)
內部泄漏率: 內部泄漏率為4 x 10 -8 scc/sec He
工作溫度: -40°F to 150°F (-40°C to 66°C)
隔膜材料: 哈氏合金的C-22材料
閥芯材料: 316L 不鏽鋼
過濾器材料: 哈氏合金的C-22材料
表麵處理: 表麵組糙度10RA(0.25微米),25RA(可選)

體(ti) 積: 0.49 cm3

FR1000係列調節閥是非束縛隔膜的減壓閥, 提供低至中等流量的能力與(yu) 入口壓力為(wei) 3500 psig.FR1000提供工藝氣體(ti) 導致在一個(ge) 穩定的流量和下遊係統使其成為(wei) 閥箱、氣瓶櫃優(you) 良的選擇壓力提供正確的控製,和許多半導體(ti) 製造中的應用.

標準的哈氏合金C-22®隔膜和綜合過濾促進壽命長性能的同時,金屬對金屬密封膜片以獲得高度密封性。
FR1000提供相同的質量、穩定性和性能水平的派克產品的預期,在一個高度競爭的價格點.新生產線補充了我們現有的,保費qr4000和hf1200係列穩壓器,和組合,將廣泛應用在半導體製造中的應用。

市場:
• 半導體製造
• 天然氣公司

特點/好處:
• 金屬-金屬膜片密封實現泄漏完整性
• 製造超高純度氣體輸送應用
• 10英寸RA表麵光潔度
• 鈍化和電解拋光
• 綜合過濾
• 標準hastelloy® 膜片

應用:
• 工具掛鉤
• 閥門歧管箱
• 處理氣體櫃
• “使用點”壓力調節

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